截至2026年3月30日午间收盘，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.72%，成分股金海通10cm涨停，富创精密上涨5.71%，中晶科技上涨4.82%，华峰测控，华海清科等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)上涨1.57%。
消息面方面，全球半导体行业年度盛会SEMICON China 2026于3月25日至27日在上海举办。本届展会以“跨界全球·心芯相联”为主题，汇聚了1500余家上下游企业，吸引超18万专业观众共襄盛举。期间，中微公司推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova及高选择性刻蚀机Primo Domingo，可支撑5纳米及以下逻辑芯片与先进存储制造；北方华创发布12英寸D2W混合键合设备Qomola HPD30，成为国内首家完成客户端工艺验证的厂商；拓荆科技PECVD设备装机量与工艺覆盖率均达国内第一，并发布ALD新品VS-300T Astra-sSiN，强化在高产能与低CoO领域的竞争力。
中信证券研报称，SEMICON CHINA2026展现了中国半导体产业从单点突破到全产业链崛起、从成熟制程到先进制程突破、从国内市场到全球市场拓展的三大趋势。随着国产半导体设备、零部件、材料全环节的逐步突破，先进制程产品批量落地，海外依赖度持续下降，本土企业成为产业增长核心动力。
数据显示，截至2026年2月27日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、江丰电子，前十大权重股合计占比63.83%。
资金流入方面，截至2026年3月27日，半导体设备ETF万家最新资金净流入390.83万元。拉长时间看，近20个交易日内，合计“吸金”1576.57万元。数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF万家前一交易日融资净买额达144.99万元，最新融资余额达1514.90万元。
费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
万家中证半导体材料设备主题ETF(场内简称半导体设备ETF万家，159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。
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